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納米操作機

簡(jiǎn)要描述:納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進(jìn)行物理交互(如測量、移載、搬運等),并且可以在各種顯微鏡(光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB)內進(jìn)行各種物理量測量(如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等)的精密儀器。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2022-11-12
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:5660

產(chǎn)品分類(lèi)

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納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進(jìn)行物理交互(如測量、移載、搬運等),并且可以在各種顯微鏡(光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB)內進(jìn)行各種物理量測量(如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等)的精密儀器。該系統全部由Nators公司自主開(kāi)發(fā)的模塊化部件組成,可根據用戶(hù)需求提供定制化解決方案。

產(chǎn)品特性:

  • 閉環(huán)運動(dòng)控制,具有數十毫米運動(dòng)行程和納米級運動(dòng)分辨率

  • 低漂移,高重復定位精度

  • 結構緊湊、體積小,適配市面上大部分顯微鏡平臺

  • 模塊化設計,可根據用戶(hù)需求提供定制化服務(wù)

納米操作機產(chǎn)品應用:

  • 微納操作與微裝配

  • 半導體納米芯片電學(xué)探測

  • 材料納米力學(xué)測量(納米壓痕、彎曲、拉伸測試)

  • 光電材料等原位光誘導或原位性能測量

  • MEMS器件測試

規格參數:

概述 技術(shù)參數
納米操作手數量 多達8個(gè)+樣品臺
每個(gè)操作手自由度 XYZ三軸
操作手運動(dòng)行程(XYZ) 20 mm
開(kāi)環(huán)運動(dòng)分辨率 1 nm
閉環(huán)運動(dòng)分辨率 5 nm
選配模塊 力傳感器、旋轉定位臺
 

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